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北京华跃英泰科技有限公司 http://www.hyintek.com.cn
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布鲁克(原veeco)大样品台非接触式表面轮廓仪NPFLEX
1. 非接触式光学测量方式,对样品表面无损伤。
2. 测试时间短, 垂直方向上可达亚纳米级分辨率。
3. 快速、准确测量多个样品 ,实现高速材料表面表征。
4. 广泛的应用领域,样品的反射率从0.1%至100%均可测量。
5. 操作非常简单。
6. 高分辩、高速测量、高重复性、高可靠性的完美结合
7. 功能强大、行业领先的专业分析软件:
a) 台阶高度
b) 表面粗糙度
c) 多区域测量
d) 弯曲测量
e) 角度测量
f) 厚膜分析软件包-适用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析
g) 光学软件包-应用于光学级表面表征
h) 数据存储制造业软件包-适用于硬盘部件的测量检测

8. 可测量各种复杂形状样品。

三、 性能参数指标介绍:
1.工作条件:
电源:220V,1500W
环境温度:10℃~35℃
环境湿度: 10%~85%

2. 仪器尺寸:172cm H x 77cm D x 81cm W

3. 最大样品尺寸:H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm

4. 最大样品重量:50kg

5. 垂直分辨率:<0.15nm;(可测量出亚纳米级的表面结构)。

6. RMS重复性:0.03nm;(在测量超光滑平面的时候,多次测量的重复性非常好)。

7. 台阶高度测量的精度:0.5%;(对高度测量的精确度可控制在0.5%以内)。

8. 台阶高度测量的重复性:<0.12% 1σ;(对高度测量的重复性可控制在0.12%以内)。

9. 光学分辨率:0.49um;(在使用50倍物镜的情况下,可分辨的最小尺寸为0.49um)。

10. 最大扫描速度:28.1um/s;(纵向扫描的速度可达28.1um/s)。

11. 垂直方向最大扫描范围:10mm,全量程闭环控制,无需缝合。(纵向最大的扫描长度为10mm,并且此测量为闭环控制测量,保证了测量的准确性)。


参考价格:1
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