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上海旦顺实业有限公司 http://www.done-e.com
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CCD坚膜专用无尘烘箱
产品型号:COL-2
在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。
本公司生产的COL-系列无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污
无尘烘箱特点:
1:全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
2 :采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
3:采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门
(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
技术参数:
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 温度范围:RT+60℃~300℃
4. 无尘烤箱洁净度:100级;
5. 温度均匀性: ±1.5%
6. 波 动 度:±0.5℃
7. 电源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉;
9. 空气循环装置:大容量轴流电机;
10. 加热方式:不锈钢电加热器;
11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;
12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;
13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;
14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;
15. 排 气 口:ф50;
16. 隔板:2层,不锈钢方通,承重约30KG。

参考价格:56000
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无尘烘箱
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上海旦顺实业有限公司
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