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奥林巴斯半导体检查显微镜MX61L
产品型号:MX61L
名称:半导体检查显微镜
编号:MX61L

产品说明
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

半导体/FPD检查显微镜MX61L

观察影像实例
晶圆(明视场观察) 晶圆(暗视场观察)

晶圆(微分干涉观察) 彩色滤色片(透射观察)

半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格

光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)

机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射
反射/透射

照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)

照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明
纤维光导

对焦单元
电动/手动
手动

行程
32 mm

分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度
30 mm

物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式
-

载物台
行程
14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)

观察筒
广角视场(视场数22)
倒置
双目/三目观察筒

正像
三目观察筒

超宽视场(视场数26.5)
倒置
三目观察筒

正像
倾斜三目观察筒

附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸
710(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)

重量
51 kg(标准组合)




参考价格:电议
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上海维翰光电科技有限公司
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邮编:201615
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