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美国埃米级电涡流位移传感器
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产品型号:SMU9000 |
美国埃米级电涡流位移传感器
SMU9000埃米级电涡流位移传感器基于独特的脉冲宽度调制器,融合了最新的表面安装组件和PCB设计。满足OEM对性价比的要求,并且能兼顾线性精度和热稳定性。并可根据客户需求定制。
特点:
超高分辨率,1埃
信噪音比:1PPM
精确度0.1%,通过计算机校准
小尺寸,易于集成;2通道小于5.5立方英寸
多种配置:9000单通道,9200双或平衡差分操作,3和4通道模型。
丰富的传感器选件
低功耗:<40mW/通道
主要指标:
使用于被测材料为铝、铜等导电材料。SMU9000 单双通道;SMU9200 为3~4通道
-分辨率1诶
-信号噪声比小于0.1%
-量程:0~0.88mm/ 0~12mm
-线性可优化到0.1%
-频响:0~10KHZ
典型应用:
光学平台位置测量
半导体和光器件的研磨
半导体模板对齐系统
蒸镀系统
电子显微镜垂直轴定位
原子显微镜垂直轴定位
磁悬浮轴控制
部件研磨加工的精确定位
镜片控制
物质收缩测试测量
机械结构变形探测与测试
应用举例:
半导体圆晶片和模板(刻线)检测(凯盟的系统提供位置反馈信号将晶片或模板带入初始焦点,光学系统随后进行最终的聚焦。)
读写头制造,研磨板定位(通过3个双通道单端系统,监控读写头相对研磨板的位置)
飞机制造:动态铆钉高度检测
高精度3通道照相平台位置测量
高精度照相平板台高度位置测量
欲了解更多关于产品的信息,请访问真尚有公司网站 www.51sensors.com
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参考价格:0 |
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| 深圳市真尚有科技有限公司 |
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地址: |
广东·深圳市南山区南山大道中油大厦2210
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| 邮编: | 518054 |
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