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纳米定位台
纳米定位台
产品型号:P66.XYZ
纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Y轴、XY轴、XYZ轴精密运动的平台,驱动形式包括压电陶瓷直驱式与机构放大式两种,运动范围最大可达110μm, 具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有极高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

P66.XYZ II压电纳米定位台为压电陶瓷直驱机构压电平台,采用柔性铰链结构设计具有无摩擦、无反弹、响应速度快等特点,最大运动行程110μm,分辨率可达0.1nm,定位精度实现纳米级,可通过自由组合成二维、三维压电纳米定位台。

特点:
柔性铰链结构设计,无摩擦无反弹
最大行程110μm
开环与闭环版本可选
FEA有限元分析优化产品性能
可组合成二维、三维纳米定位台
应用:
光纤拉伸/端面检测/对接 硬盘测试 电化学加工 3D锡膏检测 精密定位 显微成像

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公司其它产品:

压电陶瓷
压电扫描台
压电物镜定位器
压电偏摆台
E00/E01压电陶瓷驱动电源
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