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压电物镜定位器
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产品型号:P73 |
压电物镜定位器是专门为聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
P73-压电物镜定位器为小体积大行程压电物镜定位器,内置高性能压电陶瓷,闭环精度高,响应速度快、满行程线性度达纳米量级,可进行激光聚焦,已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
特点:
运动范围500μm
定位精度达纳米级
响应速度可达毫秒级
直线运动无偏航
应用:
晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
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| 哈尔滨芯明天科技有限公司 |
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黑龙江·哈尔滨市南岗区汉广街41号金华大厦6层
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