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X62 D16B3M-T-2型抛光机
产品型号:X62 D16B3M-T-2型
一、设备用途
本机适用于蓝宝石、硅片、蓝玻璃、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密抛光加工。
二、主要特点
1.本设备专为晶体材料高精度物理化学抛光开发了上下盘水冷系统,满足抛光工作温度的调控。
2. 采用三电机同步拖动,上下盘公用一个电机,转速机械定比联动;齿圈、太阳轮独立电机拖动,变速范围更广,能适应不同抛光工艺的要求;上、下抛光盘采用斜齿轮传动,提高了运转的平稳性。采用高性能变频器调速拖动,启动、停止无冲击,调速稳定。
3.太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
4.压力采用电气比例阀及称重传感器闭环控制,压力等级设定更方便精确,操作简单易行,工作可靠稳定。
5.本机应用触控人机界面(PT)及PLC控制,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数,主操作由普通键钮完成;可由用户设定存储多套不同的工艺参数(压力、时间、速度),以供操作工调用;操控逻辑及界面显示可根据客户需求配置设计。
6.本机整体为龙门式结构,支撑刚度好;上盘上升到最高位置后保险挂钩自动锁定上盘系统,并且提供了手动安全吊链和安全支撑,保证了安全可靠。
7.本机配备有集中润滑装置,可对机器的各个运动部位进行自动润滑;
8.造型及内部结构充分考虑了可靠性、实用性、互换性和操作和维修的方便性。
三、主要技术参数
1. 研磨盘参数: φ1149mm×φ343mm×50mm
2. 齿圈参数: Z=552 DP12α=20°
3. 中心轮参数: Z=152 DP12α=20°
4. 游星轮参数: Z=200 DP12α=20°
5. 齿圈升降行程:30mm(电机升降方式)
6. 游星轮数量: 5个
7. 主电机(带动上下盘): 11kW
8. 太阳轮电机: 1.5kW
9. 齿圈轮电机: 2.2kW
10. 下盘转速:0-50rpm
11. 太阳能转速: 0-20rpm
12. 齿圈转速:0-20rpm
13. 砂桶容量:约30L
14. 修正轮: 4件/套
15. 设备重量:约5600kg
16. 设备外形尺寸:(长×宽×高)2200mm×1600mm×2700mm
四、设备的安装要求
设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。
1.工作温度: 15℃-25℃
2.气源: 0.4-0.6MPa(干燥无油)
3.相对湿度≦80%
4.电源: AC380V,50Hz (三相五线制)
5.冷却水
水压:2kgf/cm2 以下
水量:30L/min
温度:7~12℃


参考价格:888888
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