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上海天省仪器有限公司 http://www.tianxing17.com/
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硅片显微镜
产品型号:TGP-50
一、用途:
TGP-50C明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

二、技术参数
1.目镜
类 别 放大倍数 视场(mm)
大视野目镜 10X φ18
2.物镜
类 型 放大倍数 数值孔径NA 工作距离(mm)
长工作距离平场消色差物镜 5X(明场) 0.12 18.3
10X(明暗场) 0.25 8.9
20X(明暗场) 0.40 8.7
40X(明暗场) 0.60 3.7
80X(明场) 0.80 0.96
3.光学放大倍数:50X -- 800X 系统参考放大倍数:50X-5000X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:二层机械移动式(配有快速移动装置) 尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头

三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(TGP-50C): 1.显微镜 2.适配镜 3、高像素摄像头4、计算机(选配)

四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(TGP-50C):50--4000倍 (17寸显示器为例)

五、选购件
1.硅片测量软件TX-3000C 2.目镜: 20X 10X(带刻度)



参考价格:5000
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