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| 光栅尺测量系统
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非接触的敞开式光栅尺测量系统运动速度快，精度高，常用于干净环境中。
非接触的敞开式光栅尺在扫描光栅和标尺光栅之间有一层气墙，气墙覆盖整个测量范围。安装面的平面度和与机床导轨的平行度非常关键。
根据测量系统的版本不同，提供两种不同的测量光栅尺：
玻璃光栅尺（包括ROBAX玻璃陶瓷）或钢带光栅尺。
系统分辨率 特殊测量光栅尺 外形尺寸 型号/系列
5 µm至0,05 µm 钢带光栅尺 小号版本 MS 30系列产品
100 µm至0.1 µm 玻璃光栅尺或钢带光栅尺 紧凑版本 MS 50系列产品
10 µm至0.1 µm 玻璃光栅尺或钢带光栅尺 扁平结构 MS 61系列产品
0.1 µm至0.01 µm 玻璃光栅尺 小号版本 MS 80
2 µm至0,1 µm 玻璃光栅尺 小号版本 TDE 60
1,25 µm至0,1 µm 钢制带基上的钢带光栅尺，
滚珠导轨
小号版本 MSG 10
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| 上海方良电子有限公司 |
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