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Trimos TR-scan 非接触粗糙度(微观形貌)测量仪
产品型号:TR-scan
瑞士Trimos公司生产的TR-Scan非接触表面粗糙度(微观形貌)测量仪,系统核心选用数字全息三维显微测量技术(DHM),广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比,测量速度快,对振动不敏感,真正的实现三维形貌纳米级测量。
模块化的设计理念,可配置色谱共聚焦显微系统(CCS), 探针测量系统,传感器直接更换,方便快捷,极大的满足了不同的应用范围。
即可用于计量单位和材料科学研发实验室,也广泛应用在工业制造领域:汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。

主要特点:
◆ 非接触式测量原理,无损化检测粗糙度,微观形貌
◆ 独有的数字全息三维显微技术,真正实现3D微观形貌测量
◆ 创新的成像原理,从原理上保证了对外界振动不敏感,Z轴分辨率高
◆ 模块化的设计概念,直接更换传感器,不需要调整,方便快捷
◆ 可非标定制相应的测量头,满足不同客户的特殊工件测量要求
◆ 即可选用数字全息技术实现高精密表面测量,也可选用色谱共聚焦技术实现微观轮廓测量或选用接触式探针实现内壁粗糙度测量
◆ 应用了Trimos“智能用户界面”的理念,测量过程全自动,操作简单
◆ 采用专业的3D形貌分析软件,功能强大,即可实现2D轮廓测量,也可进行3D形貌分析
◆ 可进行编程批量检测并自动生成分析报告
◆ 完全兼容2D标准,并已内置即将制定的3D标准ISO25178

技术参数:

型 号 TR Scan-101 TR Scan-301
工作台移动范围X mm 固定式 100
工作台移动范围Y mm 固定式 100
工作台移动范围Z mm 240
XYZ轴最小移动量 um 0.1
XYZ轴定位精度 um 1
XY轴导轨直线度 um 0.3
工件最大重量 Kg 20


测量头 DHM S1 DHM S2 CCM P1 DIM P1
垂直分辨率(Z) nm 0.1 0.1 8~780 ** 10
轴向分辨率(XY) um 0.6 0.6 0.9~14 ** 1
典型测量范围(Ra) * um 0.4 1.6 0.012 ~>200 ** 20
垂直测量范围 * um 3 7 130~24000 ** 350
最大允许误差(Ra) % 1% 1% 1%~5% ** 5%
重复性(Ra,1σ) nm < 0.1 < 0.1 < 5~25 ** 9
样品反射率 % < 1% ~100% < 1% ~100% < 1% ~100% -
视场范围 mm 0.25 x 0.25 0.25 x 0.25 - -
* 对于不同的被测表面, 此数值会不同
**根据使用的镜头而在此范围内变动

色谱共焦传感器系统简介


•非接触式厚度和距离测量
•分辨率高达 8nm
•适合于所有表面和材料
色谱共焦传感器系统利用共焦成像原理和光轴色谱编码来确定目标表面的位置和厚度。光轴色谱编码利用色谱将宽带光源聚焦到测量范围内的多个点上。被聚集的反射光通过空间滤波器反射到分光仪上。分光仪的光谱响应决定反射发生表面的位置。每个系统都包含一个控制器、光学笔、将光学笔连接到控制器的多模态光缆。
色谱共焦传感器系统可测量几乎所有的表面和材料,包括:透明面、不透明面、反射面、粗糙面及抛光面。


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