型 号： FUNCTION 564
行 程： X轴 500 mm
Y轴 600 mm
Z轴 400 mm
结构型式：移动桥式
传动方式：直流伺服系统+ 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：120 L/min – 140 L/min
整机尺寸(LWH)：1.4 m X 1.2 m X 2.3m
机台承重：600 kg ，整机重量：850Kg
空间测量精度：（2.8+L/300）μm
