STRAIGHT-line Typ 100 Typ 150 Typ 200
外形尺寸 长 120 mm 170 mm 190 mm
宽110 mm 170mm 230 mm
高85 mm 115 mm 115 mm
工作导轨面 水平面 100 mm 60 mm 145 mm
垂直面 75 mm 195 mm 75 mm
真空支撑 顶面 4 3 or 4 4
质量 1200 g 2550 g 4200 g
真空吸附力 水平面 〉70 N >120 N > 200 N
垂直面 > 220 N > 220 N > 270 N
重复性** 0.30 μm 0.30 μm 0.30 μm
可选重复性** 0.05 μm 0.05 μm 0.05 μm
最大倒角尺寸 5 mm 7 mm 7 mm
空气单元SA-100 5-10 bar<40 l/min
