2. 技术描述：
1).主机:
a. BETIN系列测量机采用国际先进的有限元分析设计方法，使其具有机械结构刚性强、几何误差小，具有高精度、高性能和高稳定性的优点。
b. 机械整体结构采用刚性结构好、质量轻的全封闭框架移动桥式结构。其结构简单、紧凑、承载能力大、运动性能好。
c. 固定优质花岗岩工作台，使其具有承载能力强、装卸空间宽阔、便捷。
d. 三轴采用优质花岗岩，热膨胀系数小，三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，刚性好、动态几何误差变形小。
e. 三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距大，抗角摆能力强，阻力小、无磨损、运动更平稳。
f. 驱动系统采用国际知名品牌的高性能直流伺服电机、齿形带柔性传动系统，最大幅度降低了系统误差，提高了测量速度，保证了设备具有更高的动态精度Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。
2). 精度指标：
a. 长度计量系统： 奥地利RSF反射式金属带状光栅尺
b. 分辨率： 0.5).m；
c. 测量范围： 500mm×600mm×400mm
d. 示值误差： E≤2.5＋L/300).m
3). 环境要求
a. 温 度：20+1℃ 1℃/h 1℃/m 2℃/24h
b. 湿 度： 40%-70%
c. 电 源：220V+10%, 50HZ-60HZ
d. 气 压：6-10bar
e. 清洁度: 洁净、无尘
f. 振 动: 10Hz<振动频率≤30Hz时，振幅≤0.5μm
g. 供气流量: >350L/min
