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英国超精密电容位移传感器
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英国超精密电容位移传感器
单极性ZCS1100和双极性ZNXsensor超精密电容传感器,可应用:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZCS1100超精密电容位移传感器特点:
纳米级分辨率;线性0.08%;灵敏度可调;
量程:240µm;
线性:0.08%;
分辨率:0.1nm
频带:35KHZ;
ZNXsensor双极型精密电容位移传感器特点:
纳米分辨率;零磁滞;线性0.02%;频带可调50~5000HZ;灵敏度可调;
量程: -/20 /50/100 /250/500/1250 um;
线性:0.02~0.08%;
频带:50 /500 /5000HZ;
温漂:铝探头:22ppm/ºC;殷钢:0.3 ppm/ºC;
灵敏度系数:0.1或0.05或0.01
稳定性:50nm/月,10nm/天
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