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| 超精密电涡流位移传感器
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超精密电涡流位移传感器
有埃米级分辨率电涡流位移传感器SMU9000、SMT9700,
特点：
-超高分辨率，1埃
-信噪音比：1PPM
-精确度0.1%，通过计算机校准；
-频响：0～10KHZ
其典型应用：
光学平台位置测量；半导体和光器件的研磨闭环测控；半导体模板对齐系统定位；半导体蒸镀系统定位；
电子显微镜垂直轴定位；原子显微镜垂直轴定位；磁悬浮轴控制；部件研磨加工的精确定位；镜片定位控制；
物质收缩测试测量；机械结构变形探测与测试；高精度照排3D位置测量；读写头制造，研磨板定位；
有纳米级高稳定差动电涡流位移传感器KD5100
特点：
-每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1纳米
-超耐热，长时间稳定：5x10E-6 英寸/月或更好
-有耐低温传感器
-非常高的灵敏度，最高到394 mV/µm
典型应用：
-差动测量：
如激光反射镜聚焦平台定位。
-低温应用：
20N传感器有一个专门的低温应用版本，已证明其在70°K的液态氮中有最优性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
-真空应用：
传感器和KD-5100的电子器件都已用在10～6托的真空应用中了。
-超高精度宇航应用：
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下的MTBF超过55,000小时，太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ：可应用于空间狭小的场合。
-中继镜片激光定位（RME）：
RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。
-半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦位置、关键尺寸和对齐控制：
-精确望远镜定位
-磁悬浮轴定位
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