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深圳市真尚有科技有限公司 Http://www.51sensors.com
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集成电路照排平台高精度定位传感器
集成电路照排平台高精度定位电涡流位移传感器
在关键的Z轴高度调整中,支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面(次原子级)。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置(如图)并输出模拟信号(或可选的数字接口)。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。
主要指标:
测量对象:铝
量程起点:0.25mm
量程:25µm
非线性:±1%
分辨率:<25x10^-11M
灵敏度:0.4V/µm
电源:+12~+30V,15MA/每通道
频响:0-10KHZ
输出:0-10V
温漂:<0.5µm/℃


参考价格:0
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