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手动探针台
产品型号:APS150
台湾SWIN公司是一家开发和生产手动探针台为主的的制造商,其提供的手动探针台针广泛应用于半导体、微电子、光电子、太阳能等领域,其产品包括:晶圆探针台(Wafer Probe Station)、射频探针台(RF Probe Station)、LCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station)、四探针台(Four Point Probe Station,也称:表面电阻探针台)、霍尔效应探针台(Hall effect measurement system)、变温探针台(高温探针台、低温探针台)、环境可控型探针台等型号。

APS150/APS200晶圆探针台:
· 载物台尺寸: 4英寸、6英寸、8英寸可供选择
· 载物台位移:
快速移动( APS150 / APS200 ):150 X 150mm / 200 X 200mm
精密调整( APS150 / APS200 ):150 X 150mm / 200 X 200mm
· 样品台旋转角: 0 ~ 30 度 (可选精密调整)
· 载物台上/下范围: 5mn
· 真空吸盘:不锈钢(可选加热吸盘)
· 漏电流低于300fA
· 显微镜台位移: 25mm X 25mm
· 显微镜放大倍率: 30-2000倍 (可由客户指定)
· 探针座数量:2-6个
· 探针座XY位移:11mm、12mm、25mm可选
· 探针座Z位移 :8mm、11mm、12mm、16mm可选
· 尺寸: ( W / D / H )
APS150 : 580mm X 460mm X 700mm
APS200 : 660mm X 660mm X 700mm
· 重量 ( APS150 / APS200 ) : 60kg / 80kg


可选配件:
1)低电流、低电容探针/电缆
2)RF探针/电缆
3)不同工作距离和放大倍率光学显微镜
4)变温探针台
5)真空腔
6)环境腔

同时我们可以根据您的具体需求提供高性价比的客制化产品。


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霍尔效应测试仪
北京飞凯曼科技有限公司
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