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电子工业设备展厅 |
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| 直流磁控溅射真空镀膜设备
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| 产品型号：KT-Z1650PVD |
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口
KF25抽气口KF16放气口 6mm卡套进气口
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| 参考价格：23000 |
| 公司其它产品：
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| 郑州科创实验仪器设备有限公司 |
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地址： |
河南·郑州高新技术产业开发区西三环路 283 号大学科技 园 11 号楼 12 层 78 号
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电话： |
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