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SH系列综合型分析探针台
SH系列综合型分析探针台
产品型号:SH-6
型号 SH-6 SH-8 SH-12
外形 820mm长*720mm宽*890mm高 960mm长*850mm宽*900mm高 1300mm长*920mm宽*920mm高
重量 170公斤 约230公斤 约300公斤
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 6英寸,可360度旋转 8英寸,可360度旋转 12英寸,可360度旋转
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移动精度 1um
样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有,样品台电学独立悬空
针座平台 规格 U型平台,最多可放置6个针座 U型平台,最多可放置10个针座 U型平台,最多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度 注1
放大倍数 20~4000X
镜头规格 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X、100X(选配)
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 晶圆测试,光电器件测试,PCB/封装器件测试,射频测试,高压/大电流测试等
可选附件 卡盘快速拉出装置
显微镜倾仰装置(倾仰30度)
显微镜气动升降装置
激光微加工
探针卡夹具
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
液晶热点侦测套装
高压/大电流测试套装
带真空底座的活动Chuck
加热台
高低温样品台
屏蔽箱
转接头
防震台
镀金卡盘
同轴叁轴卡盘
样品台快速升降,微调升降装置选件
样品台旋转微调选件
光强/波长测试选件
射频测试附件
有源探头
低电流/电容测试
兼容积分球测试选件
光纤夹具耦合测试选件
封装器件夹具
PCB/封装夹具测试选件
特殊定制
注1 配置体式显微镜(放大倍数16~100X)时显微镜固定,无需切换镜头





参考价格:1
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深圳市森美协尔科技有限公司
地址: 广东·深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
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