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电子工业设备展厅 |
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| 量产型半自动全自动探针台
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| 产品型号：SA |
量产型半自动/全自动探针台
型号 SA-6/SA-8/SA-12 外形 1500（长）*1700（宽）*1100(高)
重量 1700kg 电力需求/功率 220VAC±10V/50Hz/2.2KW
规格参数 能够测试的晶圆直径 6,”8”,12”
晶圆厚度 300≤T≤1000um（标准） 300≧T(薄片机型）
晶圆厚度偏差 50um
Inlex time 300ms(标准速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移动的时间)
Chuck 具备5轴移动机构 （X/Y/Z/theta/F）
X-Y轴行程 380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um
XY全行程机械定位精度 ±2um（环境温度在±1°以内波动时）
XY最大速度 300mm/s
Chuck平面度 ≤5 um
Z轴行程 37mm，探针分离高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
Z轴移动解析度 0.1um
Z轴定位精度 ±2um
Theta 轴 ±5°/0.0001°
光栅尺 0.1um光栅尺
预对位平台 光学原理检测， 平边或者notch ±1°定位精度
晶圆机械手 陶瓷机械手，cassette *1
晶圆装载单元 一个升降单元，预对位单元，晶圆传输子单元以及他们的接口
自动对位系统 自动水平扫描、自动第一测试点定位、自动测试中心定位
自动上下片系统 料盒安全保护、晶圆定位边预对准
精确对位单元 pattern matching
位移传感器 采用静电容传感器 ， 分辨率 2um （option)
照明 同轴卤素灯照明或LED光源
视场 低倍情况：4.9*3.6mm 中倍情况：1*0.72mm 高倍情况：0.49*0.36mm
PC配置 I5CPU，4G内存，128G固态硬盘等
LCD 显示器 对位显示为黑白，其他显示为彩色，中文
键盘 单元大小 15*15mm, 46 字母数字
报警器(三色灯) 红，黄，绿
操作场地要求 2200mmX2200mm
操作界面 Windows中文操作界面，中文MAPING动态显示
标记 上下标记 ，标记可以实时或者离线标记，标记耗时15~300ms，采用ink或者Laser
可以采用的cassette形式 FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可选附件 自动磨针台 可以兼容高频测试头 晶圆ID 识别功能
可以匹配自动晶圆盒取放设备（AGV or OHT） 直接和晶圆传输控制电脑或者服务器通讯
FOUP(front open unified Pod)有别于普通open cassette , 带有洁净气体单元（mini environment），可以在晶圆传输过程保持洁净在Class100洁净室里面，探针台内部可以达到Class 1“主体包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP测试机接口
特点
超高的测试精度和超快测试速度 自动alignment/找晶圆中心/测量diesize
支持单点测试和连续测试 功能丰富的测试软件
便捷的仪器接入 可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
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| 参考价格：10000 |
| 公司其它产品：
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| 深圳市森美协尔科技有限公司 |
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地址： |
广东·深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
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