佳工机电网 在线工博会 我的佳工网 手机版 English
关键字  
  选择展区 >>
您的位置: 首页 > 电子/通讯/办公文具展区 > 电子工业设备展厅 > 产品库 > 探针台 > 产品介绍 新闻 文章 会展 人才 帮助 | 注册 登录  
电子工业设备展厅
 请选择展区



关键字  
深圳市森美协尔科技有限公司 http://www.semishare.com
首页 | 公司介绍 | 产品与服务 | 企业新闻 | 技术应用 | 联系方式
SEMISHARE SX系列半自动晶圆探针台
SEMISHARE SX系列半自动晶圆探针台
产品型号:SX
一、设备用途
半自动高低温探针台 SX 系列,用于半导体器件微纳功能材料的精密分析,对晶圆芯片的电路板和模块、MEMS、
生物结构、光电器件等进行晶圆上探测,提高芯片应用良率。
二、设备能力
半自动高低温探针台 SX 系列,集成了光波、微波、电学等测试功能,设备可配备相应的仪器仪表,对各类元
器件、Wafer 等进行 I-V、C-V、光信号、RF 等进行特性分析,是一款综合型多功能半自动量测设备,
并可根据需要,进行客制化技术指标设定,匹配客户通用设备规范。
三、设备原理:
tel:0755-26906952 26901912 fax:0755-27332216
www.semishare.com 2
半自动高低温探针台 SX 系列,是在-60-200℃环境下点测微纳器件连接,通过探针或针卡对点测样品加载电
学信号,然后在软件端对电学信号进行控制、判断与存储,并将判断信息反馈至喷墨系统,对次品晶圆进行打点
标记,其中,标记方式可根据客户要求设定。在一个晶圆测试完成后,通过软件控制系统将机械平台移动至下一
个待测点,依次进行循环测试。
四、设备结构
设备整体由控制系统、高低温控制系统、光学系统、探针测量系统、隔震系统共五大系统构成。
4.1 控制系统:包含测试软件、CHUCK 四轴控制系统、显微镜三轴控制系统;
其中,晶圆测试软件主要对仪表的电学光学信号进行控制、判断与存储;CHUCK 四轴控制系统是对
移动平台 XY 轴,以及 Theta 进行四维控制,并且将各类电学信号和光学信号反馈信号至喷墨打点系统。
CHUCK 的四轴控制系统和显微镜三轴控制系统,均采用高精度东方步进电机+线性滑动机构:交叉滚
子轴承+无回程差,研磨级循环滚珠丝杠的结构,确保系统运动的高精度。
※可实现最小单位为 0.1 微米的移动步进和 1 微米的重复定位精度,移动速度可根据用户的
需求来设定,范围从 0.1μ~60000μ的微动调节

参考价格:面议
公司其它产品:

SEMISHARE 高低温探针台
匀胶机
样品制备研磨抛光机
激光修复系统
SEMISHARE 探针座
深圳市森美协尔科技有限公司
地址: 广东·深圳市宝安区西乡恒丰工业城C1栋3楼
邮编:518103
电话: 请点击此处与厂家联系
反馈信息 查看本类产品求购信息 论坛
调研电阻探针测试台,主要测试2寸基板上芯片之间的电阻,芯片最小的为...(9/14/2016)
我要求购:
姓名 电话
E-mail
公司
分类 求购 意见/建议
留言
留言不能少于8个字符,广告性质的留言将被删除。

对 探针台 有何见解?请到 探针台论坛 畅所欲言吧!





网站简介 | 企业会员服务 | 广告服务 | 服务条款 | English | Showsbee | 会员登录  
© 1999-2024 newmaker.com. 佳工机电网·嘉工科技