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北京南轩兴达电子科技有限公司 http;//www.bjnanxuan.com
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手动石英管清洗机
产品型号:NXXD-00-01
1、设备概要
本设备适用于2″- 12″石英管清洗,同时也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具(石英槽、石英舟、石英台等)。本设备由国内专家亲自指导设计,采用国际标准生产加工,在超净厂房组装调试,此产品达到国内半导体生产线使用要求。

2、设备简介
2.1设备整体尺寸: 4500mm (长)×1500mm (宽)×2600mm (高)
2.2设备构成:
 设备骨架用低碳钢制做,外包象牙白色PVC板,美观抗腐蚀。
 有两个槽体:1# 稀氟酸槽,2# DIW冲洗槽。
 每个槽的底部都有两个滚动轴,由电机驱动旋转。石英管放在滚动轴上。清洗过程中,石英管按照一定速度转动(速度可设定)。两个滚动轴的间距能够方便调节,以适应不同直径的石英管。槽内有一个喷淋柱伸至石英管内,使药液能喷至石英管内壁,起到清洗石英管内壁的作用。设备还可以对石英槽、石英舟等石英器具进行清洗,清洗时电机可设定待机状态(既电机不转动)。请参见附图。
 1# 稀氟酸槽配有溢流、循环、过滤、鼓泡功能。通过循环泵、过滤器等组成的过滤系统,对药液循环过滤,能延长药液的使用时间。
 采用数显时间继电器,清洗时间可在1-9999秒范围内设定
 排风系统通过设备后部夹层,从设备顶部接触排气管与用户排气系统连接
 配有照明系统
 配有前拉门,保证工作间内的工作环境。
2.3清洗工艺过程:
 清洗石英管过程:
进入1# 稀氟酸槽,滚动、喷淋、清洗 → 进入2# DIW冲洗槽,滚动、喷淋、冲洗
 清洗石英器具过程:
进入1# 稀氟酸槽,喷淋、清洗 → 进入2# DIW冲洗槽,喷淋、冲洗


参考价格:10W
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北京南轩兴达电子科技有限公司
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邮编:101118
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